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      產品詳情
      • 產品名稱:RTP快速退火爐

      • 產品型號:CY-O1000-120I-T-RTP
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。
      詳情介紹:

              RTP快速退火爐是我公司自主研發的功能強大的加熱設備。RTP快速退火爐采用進口紅外加熱管加熱,造型新穎結構合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現快速升降溫。爐管內尺寸120mm,可以直接放下4英寸的材料,試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完成生產工藝的同時也大大降低了間接污染試樣的可能性。設備配備LCD高清觸摸屏,設定數據實驗操作均為圖文界面,操作方便快捷易上手,能夠大大提高您的實驗效率。設備預留了真空和氣路的快速接口,可以選購我們的真空系統和混氣系統一起使用。

      RTP快速退火爐應用領域:

        快速退火爐設備,可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積等。

      RTP快速退火爐技術參數:

      產品型號

      CY-O1000-120I-T-RTP

      爐管材質

      高純石英

      爐管直徑

      120mm

      爐管長度

      500mm

      爐膛長度

      440mm

      加熱區長

      400mm

      恒溫區長

      200mm

      工作溫度

      01000

      升溫速度

      推薦80/s,快升溫速度200/s

      降溫速度

      200以上≤25min

      控溫精度

      ±1

      控溫模式

      30段或50段程序控溫

      顯示模式

      LCD觸摸屏

      密封方式

      304不銹鋼真空法蘭

      法蘭接口

      1/4英寸卡套接頭(?8寶塔嘴接頭)

      可抽真空

      4.4E-3Pa

      供電電源

      AC:220V 50/60Hz





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